| Название работы: | Исследование дефектов в структурах Si-SiO2, Si-Si3N4 спектроскопическими методами |
| Автор: | Тутов Артём Александрович |
| Научный руководитель: | Пикулев Виталий Борисович |
| Группа: | 21414 |
| Год выпуска: | 2023 |
| Статус работы: | ВКР на соискание степени бакалавра, защищена на "отлично" |
| Ключевые слова: | фотолюминесценция, структуры Si-SiO2 и Si-Si3N4, ИК-спектроскопия, электролюминесценция |
| Оригинальность от Антиплагиат.ВУЗ: | 81% |
| Реферат: | Выпускная квалификационная работа состоит из 73 страниц, 5 основных глав, содержание которых расписано ниже, и 3 дополнительных главы, включающих в себя список литературы, глоссарий и приложения. Глава1 : Введение В этой главе описывается введение в работу, включая обоснование ее актуальности и целей. Также приводятся поставленные задачи и ожидаемые результаты. Рассматриваются методы, используемые для достижения целей и задач работы. Глава 2: Теоретическая часть В данной главе представлена теоретическая база, на которой основано исследование. Рассматривается строение исследуемых структур кремний-диэлектрическая плёнка, а также обзор методов исследования, таких как методы ИК поглощения, электролюминесценции, фотолюминесценции и энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия. В этой главе также приводятся основные концепции и принципы, связанные с анализом и интерпретацией полученных данных. Глава 3: Методическая часть В данной главе описываются схемы экспериментальных установок и программное обеспечение, которые были использованы для выполнения исследования. Рассматриваются особенности установок и их конфигурации, а также описываются шаги по настройке и запуску экспериментов. Важным аспектом этой главы является описание разработанной программы управления экспериментальной установкой на языке Python. Глава 4:Практическая часть В данной главе описывается выполнение измерений и анализ полученных данных. Рассматривается процесс получения спектров образцов с использованием выбранных методов исследования. Описываются основные шаги обработки и интерпретации данных. Глава 5: Выводы В заключительной главе приводятся основные выводы, полученные в результате работы. Рассматривается пригодность различных методов исследования для анализа структур кремний-диэлектрической плёнки. Описывается степень достижения поставленных целей и задач, а также обсуждаются возможности для дальнейших исследований и улучшений в данной области. |
| Ссылка на файл текста дипломной работы доступна только зарегистрированным пользователям: |